NANO15用于ALD做臭氧源现场

NANO15用于ALD做臭氧源现场

某高校在其原子层沉积（ALD）工艺研究中，引入了一台NANO15型臭氧发生器及配套的3S-J5000臭氧检测仪，作为高性能臭氧供应与监测解决方案。该臭氧发生器额定产量为15g/h，输出浓度可达150mg/L，具备体积紧凑、运行静音、触屏操作便捷等特点，并可外接PLC实现远程自动化控制。在实际ALD工艺过程中，设备表现出优异的臭氧浓度稳定性与可靠性，有效满足了实验对臭氧源的浓度、稳定、精确控制要求，为薄膜沉积工艺提供了稳定气源支撑，提升了实验重复性与工艺水平。