臭氧发生器剥离光刻胶后的尾气处理设计原则

臭氧发生器剥离光刻胶后的尾气处理设计原则

（一）尾气污染物与工况参数

光刻胶臭氧剥离工艺以氧气源臭氧为核心反应介质，配套 UV 或低温加热实现光刻胶氧化分解，尾气核心特征如下： 

（二）核心设计原则

梯级利用：优先利用尾气中剩余臭氧的强氧化性，同步降解 VOCs，避免额外能耗与药剂消耗；

分级处理：预处理→核心催化氧化→深度兜底，适配组分波动，确保稳定达标；

安全合规：符合 GB 16297-1996《大气污染物综合排放标准》、GB 37822-2019《挥发性有机物无组织排放控制标准》、半导体行业地方排放标准，规避臭氧燃爆、腐蚀泄漏风险；

场景适配：针对实验室、量产线、特殊光刻胶工艺设计差异化方案，兼顾运维便捷性与经济性。

（三）臭氧尾气分解器

AOD系列臭氧分解装置采用热催化方法去除多余的臭氧。析构器装置使用carulite 200作为臭氧破坏催化剂。臭氧不会消耗它，是一种安全的材料，不被视为危险废物。