臭氧浓度为什么会影响ALD薄膜成分？

臭氧浓度为什么会影响ALD薄膜成分？

ALD工艺通过前驱体和氧化剂交替脉冲，在基底表面完成自限制反应。以臭氧作为氧化剂时，臭氧需要与吸附在基底表面的前驱体残留基团发生反应，促进配体去除，并形成金属—氧键。

当臭氧浓度不足时，可能出现以下情况：

- 前驱体配体氧化不充分，残留碳含量增加。

- 表面反应不完全，薄膜中可能残留较多有机杂质。

- 薄膜中的羟基及其他含氧基团比例发生变化。

- 不同沉积循环之间的反应程度出现差异。

当臭氧浓度提高时，氧化能力通常会增强，但并不意味着浓度越高越好。实际效果还受到臭氧脉冲时间、反应压力、反应温度、腔体结构及气体传输效率等因素影响。

需要注意：臭氧发生器出口浓度不等于ALD反应腔内的实际臭氧浓度。 管路损耗、腔体压力和气体输送过程都会影响到达基底表面的臭氧条件。